气体放电等离子体特性研究
论文编号:WLX066 字数:10833,页数:25摘 要 等离子体技术是当今科技研究的前沿，已被广泛地应用于国民经济的各个领域。本文围绕等离子体展开，阐述了等离子体的概念、其产生机制、等离子体的应用等。主要对气体放电产生等离子体做了具体说明，并通过直流辉光放电实验进一步理解辉光等离子体的电学特性。课题的主要目的是通过（FB7008）型多功能等离子体实验装置观察气体放电现象，了解气体放电等离子体各特征区的性质，并测量辉光等离子体的伏安曲线，通过伏安特性曲线求出电子温度Te，电子密度ne,和电子平均动能We。 关键词：伏安曲线 气体放电 等离子体 Abstract Plasma technology is the forefront of today's scientific research, which has been widely used in various fields of national economy. By starting from the concept of plasma, we have described the technique of plasma, its formation mechanism, and plasma applications. In this paper we focus on gas discharge producing plasma, through DC glow discharge experiment to survey the electrical properties of glow discharge plasma. The main purpose of this paper is to observe gas discharge plasma so as to understand the nature of the characteristics of areas, and measure the glow plasma volt-ampere to get volt-ampere characteristics through (FB7008)-type multi-plasma gas-discharge experimental apparatus. According to the curves, we can obtain electron temperature Te, electron density ne, and the average kinetic energy We .Keywords： volt-ampere Gas discharge Plasma目 录中文摘要 i英文摘要 ii目 录 iii第一章 绪论 11.1 研究动机与目的 11.2研究背景 11.2.1等离子体简介 11.2.2 等离子体物理学 21.2.3 等离子体主要应用 31.2.4 等离子技术应用 3第二章 等离子体产生机制 42.1等离子体的产生方法 42.2气体放电产生等离子体的实验室研究 4第三章:气体放电产生等离子体 63.1气体放电原理 63.2 直流低气压放电 8第四章 气体放电实验 94.1 实验目的 94.2 实验原理 94.3 实验仪器 144.4 实验内容 144.5 实验操作步骤 154.6 实验结果处理 16第五章：结论 20致 谢 21参考文献 22
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